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影響潔凈室內的空氣品質的因素很多。如：潔凈室內的新鮮空氣量的大小；室內含氧量的多少；室內的負離子數量；室內裝修安裝等材料和生產過程產生的低濃度分子級的化學污染物的情況以及生產過程中散發的酸、堿、有機等廢氣都會影響潔凈室內的空氣品質。
1、潔凈室內的新鮮空氣量
《潔凈廠房設計規范》50073-2001中規定“保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。”
根據平衡方程式：
人們工作正常呼吸排出的CO2量 M = 0.03 m3 /人·h
新鮮空氣中CO2的含量  C0 = 0.0003 m3 / m3空氣
潔凈室內空氣允許的CO2含量   C = 0.001 m3 / m3空氣。
故：潔凈室內人們正常工作所需的新鮮空氣量 L新 = M/C-C0
    L新 = M/C-C0 = 0.03/0.001- 0.0003 = 42.86 m3 /人·h
因此，新鮮空氣量按規范要求是可行的。新鮮空氣量太小不利于潔凈室內作業人員的健康，若新鮮空氣量太大，運行能耗太大，運行費用太高不經濟。但小不低于40m3 /人·h。

2、潔凈室空氣的含氧量
大氣中氧氣的含量大約占21%，氮氣大約占79%，其他氣體的含量占總量的比例微忽其微。而潔凈室是一個密封的空間，往往在潔凈室內作業的人員會感覺不舒服、悶氣、頭痛等等，是不是潔凈室內空氣中的氧氣含量少了呢？為了這一問題，在1983年編制《潔凈廠房設計規范》GBJ 73-84時，專門請了北京有關衛生部門的專家對北京878廠潔凈室內的氧氣含量進行了測試，其結果：潔凈室內的氧氣含量占20%左右，基本正常，但潔凈室空氣中含有一些其他化學污染物和氣味，使人感覺不舒服。

3、潔凈室空氣中的負離子量
① 一般空氣中的離子分為小離子、中離子和大離子三類。小離子是由3~12個帶有基本電荷的分子組成的復合物（如： 等）；中離子是大約由100~1000個分子組成的復合體，一般寄存在微粒子上；大離子是由106個分子聚合在一起的凝聚核。

在99年8月份的《精品購物指南》雜志“空氣中的負離子”一文中將空氣中的負離子稱為“空氣中的維生素”。該文給出了不同地方空氣中的負離子含量。

各空間空氣中的負離子含量表（個/ cm3）