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潔凈室光罩對對準機使用操作方法

曝光機簡介

    在半導體製程中，涂佈光阻后的晶片，須經UV紫外光照射曝光顯影，此臺曝光機為OAI 200系列，整合光罩對準、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測量裝置及光罩夾持裝置。

    OAI 200系列為一入門型光罩對準儀，可以手動操作更改各項使用參數，如曝光時間、曝光強度及曝光功率等等。對於中高階的線寬有很好的顯影效果，此系列大可使用四吋的晶片，大的曝光功率為1KW。

曝光機使用步驟

1.    檢查氮氣鋼瓶〈AIR 60psi〉〈N2 20psi〉以及黃光室的氮氣閥、空氣閥是否有開啟。開啟曝光機下方延長線的紅色總開關，再開啟曝光機、顯微鏡。

2.    接上隧道式抽風馬達電源，進行曝光機抽風步驟，并檢查曝光機上方汞燈座后面進風口是否有進氣。如果風量微小或者無進氣，則無法開啟汞燈的電源〈會有警報聲〉。確定進風口有進氣后，才可開啟曝光機下方的汞燈電源供應器ON/OFF開關。

3.    按住汞燈電源供應器之START鍵，約1~3秒鐘，此時電流值會上升〈代表汞燈點亮，開始消耗電流〉，馬上放掉按鍵，汞燈即被點亮。

4.    汞燈點亮后，至少須待機30分鐘，使Lightsour系統穩定。假使汞燈無法點亮，請不要作任何修護動作。

5.    待系統穩定后，把電源供應器上的電壓、電流值填到紀錄表上，每一次開燈使用都要登記作為紀錄。

6.    旋開光罩夾具之螺絲，光罩之正面〈鍍鉻面〉朝下，對準三個基準點，壓下【MASK VAC.】鍵，使真空吸住光罩，再鎖好螺絲以固定光罩。

注意：

＊ MASK Holder 必須放下時才能放置光罩。扳動【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASK Holder升起或放下。

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